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飞秒时间分辨的能谱分析光电子显微镜:异质结超快载流子动力学测量
李博瀚,张冠华*,梁 宇,郝群庆,孙巨龙,周传耀,陶友田,杨学明,任泽峰*
作者单位E-mail
李博瀚 中国科学院大连化学物理研究所分子反应动力学国家重点实验室大连 116023中国科学院大学北京 100049  
张冠华* 中国科学院大连化学物理研究所分子反应动力学国家重点实验室大连 116023 zhanggh@dicp.ac.cn 
梁 宇 中国科学院大连化学物理研究所分子反应动力学国家重点实验室大连 116023南京工业大学江苏省国家先进材料协同创新中心柔性电子重点实验室和先进材料研究所南京 211816  
郝群庆 中国科学院大连化学物理研究所分子反应动力学国家重点实验室大连 116023  
孙巨龙 中国科学院大连化学物理研究所分子反应动力学国家重点实验室大连 116023  
周传耀 中国科学院大连化学物理研究所分子反应动力学国家重点实验室大连 116023  
陶友田 南京工业大学江苏省国家先进材料协同创新中心柔性电子重点实验室和先进材料研究所南京 211816  
杨学明 中国科学院大连化学物理研究所分子反应动力学国家重点实验室大连 116023南方科技大学化学系深圳 518055  
任泽峰* 中国科学院大连化学物理研究所分子反应动力学国家重点实验室大连 116023 zfren@dicp.ac.cn 
摘要:
本文成功搭建了一套集成了能谱分析功能的时间分辨光电子显微镜系统(TR-PEEM),能够对电子密度分布进行时间分辨和能量分辨的成像. 这套4D显微镜在空间、时间、能量多维度获取电子动力学信息提供了前所未有的手段. 本文使用184 fs的时间分辨、150 meV的能量分辨和优于150 nm的空间分辨对半导体进行了测量,在Si(111)表面的Pb岛上获得了微区光电子能谱和能量分辨的TR-PEEM图像. 实验结果表明,这套系统是进行异质结载流子动力学观察的有力工具,有助于在亚微米/纳米空间尺度和超快时间尺度上加深对半导体性质的理解.
关键词:  时间分辨,光电子显微镜,载流子动力学,光电子能谱
DOI:10.1063/1674-0068/cjcp1903044
分类号:
基金项目:
Femtosecond Time-Resolved Spectroscopic Photoemission Electron Microscopy for Probing Ultrafast Carrier Dynamics in Heterojunctions
Bo-han Li,Guan-hua Zhang*,Yu Liang,Qun-qing Hao,Ju-long Sun,Chuan-yao Zhou,You-tian Tao,Xue-ming Yang,Ze-feng Ren*
Abstract:
The fast developing semiconductor industry is pushing to shrink and speed up transistors. This trend requires us to understand carrier dynamics in semiconductor heterojunctions with both high spatial and temporal resolutions. Recently, we have successfully set up a timeresolved photoemission electron microscopy (TR-PEEM), which integrates the spectroscopic technique to measure electron densities at specific energy levels in space. This instrument provides us an unprecedented access to the evolution of electrons in terms of spatial location, time resolution, and energy, representing a new type of 4D spectro-microscopy. Here in this work, we present measurements of semiconductor performance with a time resolution of 184 fs, electron kinetic energy resolution of 150 meV, and spatial resolution of about 150 nm or better. We obtained time-resolved micro-area photoelectron spectra and energy-resolved TR-PEEM images on the Pb island on Si(111). These experimental results suggest that this instrument has the potential to be a powerful tool for investigating the carrier dynamics in various heterojunctions, which will deepen our understanding of semiconductor properties in the submicron/nanometer spatial scales and ultrafast time scales.
Key words:  Time resolution, Photoemission electron microscopy, Ultrafast carrier dynamics, Photoelectron spectroscopy